霍尼韋爾氣體探測器在半導體制造行業的選擇,在剛剛結束的兩會期間,“新質生產力”成為熱議話題。映射到半導體領域,半導體產業作為現代科技的重要支柱,是發展新質生產力的重要驅動因素。在政策驅動以及市場需求升級的大背景下,半導體產業迎來嶄新的發展機遇,同時也面臨諸多挑戰。

在半導體制造行業中,半導體的生產工序十分繁復,包括光刻、刻蝕、離子注入、薄膜沉積、清洗等工藝流程,涉及到的特種氣體約50余種,不乏有毒有害氣體如PH3、HF、AsH3等,一旦泄漏將對人員和財產造成不可估量的損失,有毒氣體探測成為半導體行業安全生產的挑戰之一。

半導體制造工廠通常設置有生產區、倉儲區、動力輔助區、氣體站等,在超高純特氣管道系統的輸送以及存儲過程中、半導體的生產加工以及尾氣排放等流程中,均應密切監測有毒氣體濃度,確保人員財產安全。

為了滿足不同場景的檢測需求,霍尼韋爾擁有豐富的產品線,通過先進技術和設備精準布局,可以在各個階段提供出色的氣體安全保護,來看看霍尼韋爾有哪些氣體探測器吧!

Midas氣體探測器:

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Midas系列是適用于半導體工業及其它一般工業所使用的有毒氣體以及可燃氣體的高靈敏、高可靠度的氣體探測器。

Midas系列基于電化學原理,ppm百萬分之一級別氣體偵測,廣泛覆蓋40多種氣體,最長可達30米采樣距離。它包含單點、四合一和防爆型多種型號氣體探測器,擁有較長的免校準周期、靈活的通訊模式、操作輕松、維護便捷,大大降低了氣體探測所需要的成本。

Vertex C有毒氣體檢測系統:

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集結了眾多工業設計巧思的Vertex C有毒氣體檢測系統,同樣在半導體、太陽能光伏等高科技產業中廣受好評。它最多可以支持96點的氣體偵測,偵測點采樣流量達到2.2LPM。

搭載霍尼韋爾首創的Chemcassette技術,Vertex C有毒氣體檢測系統的精確度高達十億分之一(ppb),氣體泄漏響應迅速,危險無處遁形!

Vertex VC4有毒氣體檢測儀:

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同樣搭載Chemcassette紙帶氣體偵測技術的還有Vertex VC4有毒氣體檢測儀,它設置有4個檢測點的氣體檢測系統,可連續同時偵測四個點位,采樣距離可達120米,每個測點的采樣流量達到2.8LPM,可滿足最新的臺灣地區EPA要求。

除此外,它還采用高效的模塊化設計,小巧的機體使用戶操作和維護更加便捷。